超声波是指频率在16kHz以上的声波，在溶液中以一种球面波的形式传递。在水溶液中，由于超声波的作用产生了高能的“空化泡”。“空化泡”在溶液中不断长大，爆裂成小气泡，产生的高压冲击波作用于吸附剂表面，使有机污染物质通过热分解和氧化作用得到有效的脱除，即为超声波再生法，是20世纪90年代发展起来的一项新技术。影响再生效率的主要因素有时间、活性炭粒径、吸附质类型等。

超声波再生法最大的优点是只在局部施加能量即可达到再生的目的，能耗小，工艺设备简单，炭损耗低、自耗水量少，且可回收有用物质。但超声波对不同吸附质的吸解率不同，如果用于同时吸附多种物质的活性炭的活性炭的再生则可能会造成某些物质的积累，所以此法适用于吸附质是单一物质的活性炭再生。此外，超声再生不会改变被吸附物质的结构与形态，因而用活性炭活性炭浓缩、富集、回收有用物质的再生是十分有利的。

研究表明超声波再生后排出液的温度仅较再生之前增加2~3℃。每升活性炭采用功率为50W的超声发生器处理120min，相当于1m³活性炭再生时耗电100kW·h；每一轮再生处理后活性炭损耗仅为干燥质量的0.6~0.8，耗水量为活性炭体积的10倍。兰州铁道学院王三反进行了超声波再生法的试验，结果表明超声再生具有能耗小、工艺及设备简单、活性炭损失小、可回收有用物质等特点。宁平等采用微波辐射法对载硫活性炭进行再生实验，考察了微波功率、载气量、活性炭量、再生时间以及再生次数等因素的影响。实验结果表明在微波功率700W、载气流量0.3L/min条件下，对8g的饱和活性炭进行3min的再生处理后SO2产品气浓度可达90%以上。